超高真空多腔体电子束镀膜机是制备高纯度、高致密薄膜的核心设备，广泛应用于半导体、光学器件、航空航天及前沿科研领域。其通过在超高真空环境中，利用聚焦电子束轰击靶材产生蒸气，实现精准沉积。多腔体设计支持连续、无污染工艺流程。因系统复杂、真空要求严苛，操作不当易导致镀膜失败、靶材喷溅甚至设备损伤。掌握超高真空多腔体电子束镀膜机科学、规范的使用方法，是实现真空稳、蒸发准、膜层优的关键。一、使用前准备查腔体...