高真空镀膜机作为精密薄膜制备的核心装备，其性能稳定性直接决定光学膜、半导体层或功能涂层的均匀性、附着力与纯度。设备长期在高真空、高温、高能环境下运行，易因残余气体吸附、部件老化或微粒污染导致真空度下降、成膜速率波动甚至工艺失败。建立
高真空镀膜机科学、系统的定期维护保养制度，是延长设备寿命、保障镀膜质量的关键。
一、日常维护（每次使用前后）
腔体清洁：镀膜后及时清理溅落靶材碎屑，用无尘布蘸无水乙醇擦拭内壁，避免累积剥落造成颗粒污染；
观察窗检查：清洁石英观察窗，确保无膜层覆盖，保障光学监控或目视观察清晰；
冷却系统确认：检查水冷管路无泄漏，水流畅通，水温≤25℃，防止热负荷损坏电源或坩埚。
二、周度保养
真空密封检查：查看O型圈（氟橡胶或金属密封）是否老化、变形或沾染油脂，必要时更换并涂抹真空脂；
泵油状态评估：旋片泵油若变黑、乳化或液位过低，应及时更换专用真空油；
电气接头紧固：检查蒸发源、加热器接线端子是否松动，防止接触不良打火。
三、月度深度维护
分子泵维护：检查轴承运行声音，确认无异常振动；部分型号需补充润滑油（按厂家周期）；
石英晶振探头清洁：拆卸QCM传感器，用丙酮超声清洗电极表面沉积物，恢复频率灵敏度；
靶材与蒸发舟更换：清理残余材料，安装新靶，确保装夹牢固、对中准确。
四、季度/年度全面检修
极限真空测试：空载抽真空至稳定状态，记录本底压力（应≤5×10??Pa），若明显劣化，排查漏点（氦质谱检漏）或烘烤除气；
烘烤除气处理：对不锈钢腔体通电加热至100–150℃并持续抽气12–24小时，加速释放内壁吸附水汽；
控制系统校准：校验温度传感器、膜厚仪、真空规管等计量器件，确保数据准确；
安全联锁测试：验证水压、过流、真空连锁保护功能是否正常响应。
更新时间：2025-12-02 
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