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ULVAC爱发科真空溅射镀膜机

真空溅射镀膜机Load-locktypeSputteringEquipmentCS-200z
产品特性 / Product characteristics

• Loadlock式，自动运行，操作简单

• 成膜面积大，均匀性好

• T/S距离60～180mm可调，适用广

• 可换托盘式，基板尺寸切换简便

• 2～8inch，方片，未定型片，切换兼容

• 向上溅射，向下溅射可选，颗粒抑制

  • 产品型号：CS-200z
  • 厂商性质：经销商
  • 更新时间：2026-02-10
  • 访  问  量：15
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产品详情

 

产品特性 / Product characteristics

• Loadlock式，自动运行，操作简单

• 成膜面积大，均匀性好

• T/S距离60～180mm可调，适用广

• 可换托盘式，基板尺寸切换简便

• 2～8inch，方片，未定型片，切换兼容

• 向上溅射，向下溅射可选，颗粒抑制

产品应用 / Product application

• 半导体，LED，电力电子，高校及研究所等。


产品特性 / Product characteristics

• Loadlock式，自动运行，操作简单

• 成膜面积大，均匀性好

• T/S距离60～180mm可调，适用广

• 可换托盘式，基板尺寸切换简便

• 2～8inch，方片，未定型片，切换兼容

• 向上溅射，向下溅射可选，颗粒抑制

产品应用 / Product application

• 半导体，LED，电力电子，高校及研究所等。



 

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