高真空镀膜机是制备高性能光学薄膜、半导体功能层、装饰涂层及硬质保护膜的关键设备，广泛应用于光电、微电子、航空航天与精密仪器制造领域。其通过在超高真空环境下，利用物理气相沉积（PVD）或化学气相沉积（CVD）技术，实现原子级精度的薄膜生长。高真空镀膜机性能高度依赖各核心部件的协同与稳定性，深入理解其组成与功能特点，是保障成膜质量与工艺重复性的基础。一、真空腔体采用304或316L不锈钢一体焊接结构，...