电镜专用等离子清洗机作为高精度前处理设备，长期在真空、射频与活性气体环境下运行，若缺乏系统性维护，易出现真空泄漏、射频打火、腔体污染或气体管路堵塞等问题，直接影响清洗效果与设备寿命。
电镜专用等离子清洗机应建立日清、周检、月保、年校的全周期保养机制，才能确保启得稳、洗得净、用得久。
一、每日使用后基础清洁
腔体擦拭：
关机后待腔体冷却，用无绒布蘸少量无水乙醇轻拭内壁及载物台，清除残留有机物；
密封圈检查：
目视氟橡胶（Viton）O型圈是否平整、无裂纹或粘附颗粒，若有污渍用酒精棉签清洁；
废液/残渣清理：
倒空冷阱（如有），防止挥发性副产物回流。
二、每周深度维护
真空泵油观察：
检查旋片泵油是否乳化、变黑或低于油标下限，若浑浊需及时更换专用真空油（如ISOVG100）；
气体过滤器检查：
清洁或更换进气口的0.01μm颗粒过滤器，防止微粒进入腔体；
射频电极清洁：
断电后用干燥压缩空气吹扫电极表面，避免碳化沉积导致打火。
三、每月系统性保养
真空检漏测试：
关闭所有阀门，抽至真空后保压30分钟，压升率应＜5Pa/min，否则排查密封圈或接头；
质量流量控制器（MFC）校准：
使用皂膜流量计验证气体流量准确性，偏差＞5%需送厂标定；
接地与屏蔽检查：
确认设备接地电阻＜4Ω，射频屏蔽罩无松动，减少电磁干扰。
四、每季度与年度维护
O型密封圈更换：
氟橡胶圈建议每12–18个月预防性更换，避免老化漏气；
真空泵全面保养：
更换泵油、油滤，清洗排气过滤器，延长泵寿命；
整机性能验证：
用标准污染硅片（如滴加指纹油）进行清洗测试，SEM观察清洁效果，确认等离子活性达标。
更新时间：2026-02-26 
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