德国 PH-Instruments DosiTorr是基于旋转转子真空计（SRG）技术的工艺用压力计。其采用不锈钢球体通过电磁力旋转的简约设计，相比皮拉尼规（热传导）或电离规（电离效应），不会对被测介质产生影响，是高纯工艺环境的理想选择。即使在腐蚀性工艺环境中，DosiTorr仍能保持长期稳定的高精度测量，这得益于SRG传感器对沉积和腐蚀的天然抗性。

DosiTorr

超洁净、高耐用、抗腐蚀的高真空压力测量方案

核心优势：

• 可直接替换多数电离规（1:1兼容）

• 自主工作的旋转转子真空计（SRG）

• 传递标准级精度

• 测量范围：10 mbar 至 5×10⁻⁷ mbar

• 100%线性输出

• "零"漂移（<1.5%/年）

• 抗腐蚀与沉积

• 可更换传感器

• 超洁净/无菌设计

• 真空腔内无电子元件

• 与设备同寿命设计

• 24VDC供电

• 0-10VDC可配置输出

典型应用：

• 故障电离规替换

• 离子注入、干法蚀刻

• 在线真空绝缘监测

技术说明

DosiTorr是基于旋转转子真空计（SRG）技术的工艺用压力计。其采用不锈钢球体通过电磁力旋转的简约设计，相比皮拉尼规（热传导）或电离规（电离效应），不会对被测介质产生影响，是高纯工艺环境的理想选择。即使在腐蚀性工艺环境中，DosiTorr仍能保持长期稳定的高精度测量，这得益于SRG传感器对沉积和腐蚀的天然抗性。

SRG技术工艺优势

SRG技术的高精度和长期稳定性已在真空计校准领域（如电离规校准）得到多年验证。如今，该技术以自主式工艺传感器的形式呈现：

• 超高精度：0.1 mbar至1×10⁻⁶ mbar范围内达读数±1%

• 100%线性压力读数（与气体种类无关）

• 长期稳定性：年漂移率<1.5%

• 不锈钢传感器抗腐蚀与沉积

• 安全洁净测量：无污染/无热辐射/无电离效应

增强型工艺适配设计：

• 磁屏蔽：抗外部磁场干扰

• 强化磁悬浮系统：提升测量可靠性

• 集成温度传感器：自动温漂补偿

• 更高转速：降低振动敏感性

SRG技术原理

旋转转子真空计（SRG）基于气体分子吸附-脱附导致的转子减速效应，通过测量减速速率计算真空压力。系统包含三大组件：

1. 传感器组件

• 磁性不锈钢球体（传感器核心）

• 安装在连接真空系统的套管中

2. 测量头组件

• 通过电磁场实现悬浮/加速/测量

• 外置于真空系统

3. 电子控制单元

• 传感器控制与信号处理

产品系列

为满足不同工艺需求，提供多种配置方案：